特許
J-GLOBAL ID：200903005038419088
V溝構造物品及びアレー型多心光コネクタ、並びにV溝構造物品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-131076
公開番号（公開出願番号）：特開2003-322745
出願日： 2002年05月07日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：
【要約】【課題】 シリコン基板でない基板にV溝構造を精度よく形成する。【解決手段】 最終使用目的の基板材料32の表面とシリコン基板の型20aの表面とを光又は熱により硬化する硬化性材料34で合わせる(A)。基板材料32側から光を照射して硬化性材料34を硬化させ(B)、型20aを剥離する(C)。硬化性材料34aと基板材料32を同時にドライエッチングして硬化性材料34aの形状30a,30bを目的材料である基板材料32に転写する(D)。ドライエッチングの選択比の変更、エッチングエンドポイントの変更等によって溝角度の変更、溝形状の変更が可能となる。硬化性材料34aが完全になくなるまでエッチングせずに幾らか残してエッチングを終了し、その後、残った硬化性材料34aを除去すれば、V溝30b'間の山部の頂部が平坦面となったV溝構造が得られる(E)。
請求項（抜粋）：
シリコン基板でない基板の表面に周期的なV溝構造をもち、V溝間の山部の頂部が平坦面となっていることを特徴とするV溝構造物品。
Fターム (5件)：
2H036LA03
, 2H036LA04
, 2H036LA05
, 2H036LA07
, 2H036LA08
