特許

J-GLOBAL ID：200903005089353952

流体密封流路を備えた基板容器

発明者： ティーベン,アンソニー,マシアス ,  ライスタッド,ジョン ,  ハルブメイヤー,ディビッド,エル
出願人/特許権者： インテグリス・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人岡田国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-508637
公開番号（公開出願番号）：特表2007-533166
出願日： 2005年04月18日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

基板容器は、囲み部と、該囲み部に形成されて囲み部を介する基板容器内部への流体アクセスを提供するアクセス構造とを有する。前記アクセス構造は開口部と内部表面とを有する。グロメットはアクセス構造の内部表面と接触するように設置されている。

請求項（抜粋）：

開いた側または底をもつ囲み部と、前記開いた側または底を密閉するためのドアとを有する基板容器であって、前記ドアと囲み部の一方は、前記囲み部に形成されて囲み部を介する基板容器の内部への流体アクセスを提供する第1アクセス構造を有し、該アクセス構造は容器内から容器外へと通じる開口部を有し、また前記アクセス構造は円筒状の内向面を有し、前記アクセス構造の円筒状内向面と係合するよう形成された円筒状の外向面を有する第1の弾性グロメットを有する、基板容器。

IPC (3件)：

H01L 21/673 ,  B65D 85/86 ,  F16K 15/06

FI (3件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R ,  F16K15/06

Fターム (27件)：

3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB04 ,  3E096CA01 ,  3E096CB03 ,  3E096DA05 ,  3E096DA13 ,  3E096DA17 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096EA07Y ,  3E096FA03 ,  3E096GA20 ,  3H058AA01 ,  3H058DD19 ,  3H058EE04 ,  3H058EE24 ,  5F031CA02 ,  5F031DA09 ,  5F031DA19 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031NA04 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 分子状汚染制御システム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-513670   出願人：セミファブ
• 電子部品収納および支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-183834   出願人：エイ・ティ・アンド・ティグローバルインフォメーションソルーションズインターナショナルインコーポレイテッド
• フィルタカートリッジ組立体
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-562129   出願人：セミファブインコーポレイテッド, エムパック