特許
J-GLOBAL ID:200903005151411930

センサ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 佐藤 強 ,  小川 清
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-082650
公開番号(公開出願番号):特開2004-004004
出願日: 2003年03月25日
公開日(公表日): 2004年01月08日
要約:
【課題】二つのケースをかしめ固定することにより閉塞された検出室を形成してなり、かしめを行うときに検出室の内圧が影響を受けるような圧力センサにおいて、検出室の内圧を精度良く狙い値とすることのできる製造方法を提供する。【解決手段】組み合わされた二つのケースに対してかしめを行うときに、圧力センサS1における検出室内のセンサ素子からの出力信号をモニターし、このモニターされた出力信号をかしめ装置110にフィードバックすることでかしめの荷重を制御する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
第1のケース(3)と第2のケース(7)とをかしめ固定することにより、閉塞された所定の内圧を有する検出室(10)が形成されており、 前記検出室にセンシング部(1)が設けられており、 前記かしめを行うときに、前記検出室の内圧が影響を受けるようになっているセンサ装置の製造方法において、 組み合わされた前記第1および第2のケースに対して前記かしめを行うときに、前記センシング部からの出力信号をモニターし、このモニターされた出力信号に基づいて前記かしめの荷重を制御することを特徴とするセンサ装置の製造方法。
IPC (1件):
G01L19/14
FI (1件):
G01L19/14
Fターム (11件):
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD04 ,  2F055EE40 ,  2F055FF13 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  2F055GG22 ,  2F055GG25
引用特許:
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る