特許

J-GLOBAL ID：200903005165416462

新規なポリマー及びフォトレジスト組成物

発明者： ユーデイ クマール
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-291498
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029215
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 新規なフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】 本発明は、新規なポリマー、及び、該ポリマーを樹脂バインダー成分として含むフォトレジスト組成物を提供する。本発明のポリマーは、アセタールエステル又はケタールエステル部分を含む繰返し単位を包含する。本発明の好ましいフォトレジストは、樹脂バインダー成分としてアセタールエステル又はケタールエステル単位を持つポリマーを含みかつ光によって発生する酸の存在で反応して溶解度に差をもたらすことができるポジ型化学増幅フォトレジストに関する。

請求項（抜粋）：

感光性成分、並びに、1)フェノール単位及び2)ポリマー骨格から直接懸吊しかつ該感光性成分の光活性化の時に反応可能なアセタールエステル又はケタールエステル単位を有するポリマーから成る樹脂バインダーを含有してなるフォトレジスト組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/48 ,  C08F212/14 ,  C08F220/26 ,  C08L 25/08 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/48 ,  C08F212/14 ,  C08F220/26 ,  C08L 25/08 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-259756   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 特開平4-251259