特許
J-GLOBAL ID：200903005174076690
露光装置および露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡辺 望稔
, 三和 晴子
, 福島 弘薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-347300
公開番号（公開出願番号）：特開2006-154525
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】露光前の画像データの処理に伴う待機時間の間、光源を消すことなく光量を安定させた状態で、漏れ光の照射によるかぶりに起因する画像品質の劣化を防ぎ、待機時間から露光動作への移行をスムーズに行う、生産性の高い露光装置および露光方法を提供することを目的としている。 【解決手段】露光装置において、アライメントマークをCCDカメラ24によって読み取った後、読み取ったデータに基づく画像転換の処理を行い露光開始するまでの待機時間中に、露光ユニット18の照射範囲が、感光材料30上の漏れ光エリア72となるか、もしくは感光材料30が露光ユニット18の照射範囲を外れるような位置で、算出した速度で露光方向にステージ14を移動させる。移動速度は待機時間と、露光ユニット18の位置から感光材料30上の露光開始位置74までの距離をもとに算出される。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
感光材料に設けられた露光装置の基準となる基準マークを、読取り手段により読み取って、取得した基準位置データに基づいて前記感光材料に対する露光位置合わせを行い、前記感光材料を移動手段により相対的に移動させつつ、画像データに応じて変調された光ビームを出射する露光手段により露光する露光装置であって、
前記露光手段による前記感光材料への露光開始までの待機時間の間、前記移動手段により前記感光材料あるいは露光手段を移動させる移動制御手段を有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
2C162AE23
, 2C162AE28
, 2C162AE48
, 2C162AE55
, 2C162AF14
, 2C162AF82
, 2C162FA13
, 2C162FA18
, 2H097AA13
, 2H097CA17
, 2H097GB04
, 2H097KA03
, 2H097LA12
