カーボン製反応容器

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-314492
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157073
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】カーボン製反応容器を得る。【解決手段】容器の内面、外面又は内外面に、炭化珪素被膜を施してなるカーボン製反応容器。

請求項（抜粋）：

容器の内面、外面又は内外面に、炭化珪素被膜を施してなることを特徴とするカーボン製反応容器。

IPC (4件)：

C04B 41/87 , B01J 12/00 , B65D 1/09 , C23C 16/42

FI (4件)：

C04B 41/87 V , B01J 12/00 , C23C 16/42 , B65D 1/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

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