特許

J-GLOBAL ID：200903005207063441

非回転対称画像誤差の補正方法

発明者： ヴォルフガング ルップ
出願人/特許権者： カール-ツアイス-スチフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174612
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066077
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 構成群の非回転対称な画像誤差を補正するため、簡単な手段を用いて、光学要素でのネガティブなレンズヒーティング効果を補正するための動的乃至可変に調整可能な温度分布を形成し、この温度分布に、簡単な手段により迅速且つ信頼度高く達成することができること。【解決手段】 光学要素、例えば、レンズを有する構成群での非回転対称画像誤差の補正方法において、光学要素の内の少なくとも1つに、光学要素の周囲に亘って配分された複数のペルチェ要素を設け、該ペルチェ要素を、光学要素内の温度分布の制御のために、種々異なって電気的に制御する。ペルチェ要素と光学要素との間に、それぞれ熱伝導結合を形成する。本発明は、光学要素、例えば、レンズと、ペルチェ要素とを有する対物レンズに関する。

請求項（抜粋）：

光学要素、例えば、レンズを有する構成群での非回転対称画像誤差の補正方法において、光学要素(1)の内の少なくとも1つに、前記光学要素(1)の周囲に亘って配分された複数のペルチェ要素(6)を設け、該ペルチェ要素を、前記光学要素内の温度分布の制御のために、種々異なって電気的に制御することができ、前記ペルチェ要素(6)と光学要素(1)との間に、熱伝導結合部を形成することを特徴とする補正方法。

IPC (4件)：

G02B 7/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 35/28

FI (4件)：

G02B 7/02 F ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 35/28 Z ,  H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-263768   出願人：株式会社ニコン
• 特開平3-200936
  
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-038017   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-232274   出願人：株式会社ニコン