特許
J-GLOBAL ID：200903005228239205
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工藤 宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-111509
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292484
出願日： 2005年04月08日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】 検査装置の大型化に伴う熱の問題を解消した検査装置を提供する。【解決手段】 液晶パネル7を支持するワークテーブル2と、このワークテーブル2に支持された液晶パネル7を裏側から照明するバックライト3と、これらワークテーブル2とバックライト3とを支持して液晶パネル7の位置合わせを行うアライメントステージ4とを備えた検査装置1である。上記アライメントステージ4内にその前面側から背面側まで貫通して設けられ上記バックライト3で加熱された空気を背面側へ排出する空気通路28を備えた。この空気通路28には、上記バックライト3で加熱された空気を背面側へ排出するファン10,29を備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象板を支持するワークテーブルと、当該ワークテーブルに支持された検査対象板を裏側から照明するバックライトと、これらワークテーブルとバックライトとを支持して上記検査対象板の位置合わせを行うアライメントステージとを備えた検査装置において、
上記アライメントステージ内にその前面側から背面側まで貫通して設けられ上記バックライトで加熱された空気を背面側へ排出する空気通路を備えたことを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, F21V 29/00
, G01N 21/84
, G02F 1/13
G01M11/00 T
, F21V29/00 Z
, G01N21/84 D
, G02F1/13 101
2G051AA90
, 2G051AB20
, 2G051BA01
, 2G051CA11
, 2G051DA05
, 2G086EE10
, 2H088FA12
, 2H088FA13
, 2H088FA30
, 2H088MA20
, 3K014AA02
, 3K014LA04
, 3K014LB03
, 3K014MA02
, 3K014MA05
, 3K014MA08
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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