特許

J-GLOBAL ID：200903005238645430

被洗浄物の洗浄方法及びその装置

発明者： 内野 正英
出願人/特許権者： ジャパン・フィールド株式会社
代理人 (1件)： 清水 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-382100
公開番号（公開出願番号）：特開2002-177904
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2002年06月25日
要約：

【要約】【課題】 多槽式の洗浄装置に於いて、少ない液槽で被洗浄物の精密洗浄を可能とする。そして、洗浄装置をコンパクトで廉価に形成する。【解決手段】 複数の液槽21、22、23に順次移動しながら被洗浄物20に洗浄液を接触して洗浄する。この洗浄順位の先順位に配置する液槽で液洗浄を行った被洗浄物20に、この先順位に配置する液槽の上部で、洗浄順位の後順位に配置する液槽の洗浄液を接触させて洗浄を行うための噴射口30、36と、この噴射口30、36からの液噴射による洗浄液との接触後、被洗浄物の液洗浄を行う、後順位に配置する液槽とで形成する。

請求項（抜粋）：

複数の液槽に順次移動しながら被洗浄物に洗浄液を接触して洗浄するようにしたものに於いて、洗浄順位の先順位に配置する液槽で液洗浄を行った被洗浄物に、この先順位の液槽の上部で、洗浄順位の後順位に配置する液槽の洗浄液を接触させて洗浄を行った後、この被洗浄物を、後順位に配置する液槽でこの後順位の液槽の洗浄液により液洗浄を行うことを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 3/04 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/08

FI (3件)：

B08B 3/04 Z ,  B08B 3/02 A ,  B08B 3/08 Z

Fターム (8件)：

3B201AA46 ,  3B201AB23 ,  3B201BB04 ,  3B201BB94 ,  3B201BB95 ,  3B201CB01 ,  3B201CC01 ,  3B201CD22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-108884
  
• 洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-287876   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭56-108884