特許

J-GLOBAL ID：200903005247031291

三フッ化窒素含有混合物から水と亜酸化窒素を除去する方法

発明者： フィリップ ブルース ヘンダーソン ,  チャールズ ガードナー コエ ,  チモシー クリストファー ゴールデン
出願人/特許権者： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029540
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259011
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 三フッ化窒素含有混合物から水と亜酸化窒素を除去する方法を提供する。【解決手段】 最初に水を三フッ化窒素から除去し、続いてケイ素/アルミニウム比が3.0より大きいゼオライト吸着剤との接触により亜酸化窒素を除去する。水は、平均の細孔寸法がおよそ3Å(0.3nm)以下の吸着剤との接触で除去してもよい。

請求項（抜粋）：

三フッ化窒素を含有している混合物から水と亜酸化窒素を除去するための方法であって、最初に当該混合物から水を除去し、そして次にアルミニウムに対するケイ素の比が3.0より大きいゼオライト吸着剤との接触によって当該混合物から亜酸化窒素を除去することを含む、三フッ化窒素含有混合物から水と亜酸化窒素を除去する方法。

IPC (4件)：

C01B 21/083 ,  B01D 53/02 ,  B01D 53/26 ,  B01J 20/18

FI (4件)：

C01B 21/083 ,  B01D 53/02 Z ,  B01D 53/26 A ,  B01J 20/18 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-254404
  
• 三ふっ化窒素ガスの精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-093076   出願人：日本パイオニクス株式会社