特許

J-GLOBAL ID：200903005307531965

ペリクル

発明者： 松浦 孝浩 ,  井田 勇人 ,  高木 紀明 ,  黒木 恭子
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-319128
公開番号（公開出願番号）：特開2009-139879
出願日： 2007年12月11日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：

【課題】オゾンや有機系ガスをペリクル膜の内側とフォトマスクプレート上との空間内で濃縮させないために、ペリクルフレームの部材にフィルター機能を有する素材を用いたペリクルフレームを具備させることで、HAZEを発生させないペリクルを提供すること。【解決手段】1側面以上の側面がフィルター機能またはフィルター素材を有するペリクルフレームと、ペリクルフレームに装着されるペリクル膜と、を備えることを特徴とするペリクル。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

1側面以上の側面がフィルター機能を有するペリクルフレームと、 前記ペリクルフレームに装着されるペリクル膜と、 を備えることを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F1/14 K ,  H01L21/30 502P

Fターム (1件)：

2H095BC36

引用特許：

出願人引用 (1件)

• リソグラフィ用ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-249806   出願人：信越化学工業株式会社