特許

J-GLOBAL ID：200903005309347940

容量性マイクロマシン超音波振動子

発明者： フレイザー,ジョン ディー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-511143
公開番号（公開出願番号）：特表2004-503312
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

複数の容量性マイクロマシン超音波振動子(cMUT)によって超音波振動子が形成される。容量性マイクロマシン超音波振動子のそれぞれは荷電振動板を有し、この荷電隔膜板は逆に荷電された基板に容量性をもって対抗する。この振動板は、バイアス荷電によって基板へ向けて広がる。この基板は、振動板の移動中心においてセルの荷電が最大密度となるように振動板中心へ対して隆起した中心部を有する。高調波動作のために、セルに給与される駆動パルスは、高調波帯域における送信信号の汚染を低減するために、装置の非線形動作に鑑みて予め歪められる。cMUTセルは、従来通りの半導体プロセスによって加工され得るため、バイアス荷電レギュレータなどの補助振動子回路と一体化され得る。cMUTセルは、更に、マイクロステレオリソグラフィによっても加工され得るため、セルは多様なポリマ及び他の物質を用いて形成され得る。

請求項（抜粋）：

第一の電荷を保持するベースプレートと、 該ベースプレート上に配置された底及び上端を有する支持と、 第二の電荷を保持し、前記ベースプレートと容量性関係を持ちながら前記支持の上端によって支持される振動板と、を有し、 前記ベースプレートは、前記支持と前記ベースプレートとの交点よりも前記支持の上端の高さへより近いところまで伸びた隆起領域を有する容量性マイクロマシン超音波振動子セル。

IPC (5件)：

A61B8/12 ,  B81B3/00 ,  H04R1/02 ,  H04R7/00 ,  H04R19/00

FI (5件)：

A61B8/12 ,  B81B3/00 ,  H04R1/02 330 ,  H04R7/00 330 ,  H04R19/00 330

Fターム (26件)：

4C301EE01 ,  4C301EE06 ,  4C301EE16 ,  4C301FF01 ,  4C301GB14 ,  4C301GB18 ,  4C301GB33 ,  4C301GB34 ,  4C301GB37 ,  4C301GB40 ,  4C601EE01 ,  4C601EE03 ,  4C601EE13 ,  4C601GB01 ,  4C601GB02 ,  4C601GB14 ,  4C601GB19 ,  4C601GB41 ,  4C601GB42 ,  4C601GB45 ,  4C601GB50 ,  5D019AA26 ,  5D019DD01 ,  5D019EE01 ,  5D019FF04 ,  5D019HH03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 振動素子、振動素子の使用方法及び振動素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-128846   出願人：富士通株式会社
• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-030716   出願人：株式会社東芝
• 特開平1-312485
  
• 特開平1-312485