特許

J-GLOBAL ID：200903036808744678

振動素子、振動素子の使用方法及び振動素子の製造方法

発明者： 壷井 修
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-128846
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333077
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 マイクロマシン技術を応用して気体の圧力や物体の歪を検出するために利用される振動素子に関し、感度を低下させることなく、検出可能な圧力範囲及び動作可能な圧力範囲を高圧側に広げる。【構成】 基板1と、基板1上に配設された下部電極3と、下部電極3上に空隙5を介して対向し、両端部が前記基板1に固定された、貫通孔4aを有する上部電極4と、上部電極4を振動させる駆動手段と、上部電極4の振動の振幅または周波数を検出する検出手段とを有する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された下部電極と、前記下部電極上に空隙を介して対向し、両端部が前記基板に固定された、貫通孔を有する上部電極と、前記上部電極を振動させる駆動手段と、前記上部電極の振動の振幅または周波数を検出する検出手段とを有することを特徴とする振動素子。

IPC (2件)：

G01L 1/10 ,  G01L 9/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-231423
  
• 引張膜利用型ダブル・ピン・センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-165013   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 特開平3-103735