特許
J-GLOBAL ID：200903005309823904

光熱変換測定装置及びその方法

発明者：
甘中 将人

甘中 将人 について

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高松 弘行

高松 弘行 について

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釘宮 敏洋

釘宮 敏洋 について

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後藤 裕史

後藤 裕史 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-272005
公開番号（公開出願番号）：特開2006-084431
出願日： 2004年09月17日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 試料の光熱効果による特性変化を,安定的に高精度で測定でき,さらに,消費電力の増加や高コスト化,S/N比の低下,測定時間の長時間化を防止しながら高感度で測定できること。 【解決手段】 試料5の光熱効果による屈折率変化を,試料を通過(透過)させた測定光P1における励起光P3の照射による位相変化を光干渉法を用いて測定することによって,即ち,参照光(P2)と測定光(P1)との位相差によって測定する。測定光P1及び励起光P3は,各々異なる方向から試料5の測定部5aに照射する。励起光P3はチョッパ2によって周期的に強度変調した光を用い,信号処理装置21によってその強度変調周期と同周期成分の位相変化を測定してS/N比を向上させる。さらに,測定光を反射ミラー6で試料に往復通過させることにより,高感度で試料の屈折率変化を測定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
励起光が照射された試料の光熱効果により生じる前記試料の特性変化を測定する光熱変換測定装置であって, 前記試料の測定部に第1の方向から測定光を照射する測定光照射手段と, 前記試料の測定部に前記第1の方向と異なる第2の方向から励起光を照射する励起光照射手段と, 前記試料の測定部を通過後の前記測定光の位相変化を光干渉法により測定する位相変化測定手段と, を具備してなることを特徴とする光熱変換測定装置。
IPC (2件)：
G01N 25/16 ,  G01N 21/45
FI (2件)：
G01N25/16 C ,  G01N21/45 A
Fターム (24件)：
2G040AA02 ,  2G040AB01 ,  2G040AB07 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040EA06 ,  2G040EC02 ,  2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059EE09 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 光熱変換分光分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-035105   出願人：株式会社分子バイオホトニクス研究所
審査官引用 (4件)
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