特許
J-GLOBAL ID：200903005388841459

液晶パネルの製造方法

発明者：
末廣 桂一

末廣 桂一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-183884
公開番号（公開出願番号）：特開2004-341542
出願日： 2004年06月22日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【目的】基板内面の全面に配向膜と絶縁膜のうち、少なくとも一方を有する液晶パネルに大気圧下のプラズマ処理をし、端子部分の前記配向膜又は絶縁膜を選択除去することで、配向膜や絶縁膜を選択することなく全面に形成可能となり、液晶パネルの生産性向上することを目的としている。【構成】ラインガン13内部にHeとO2の混合気体15を導入し、ラインガン先端部にRF電源14からの高周波によって発生したプラズマ16部分に電気的に設置したステージ17上に乗せた液晶パネル18の端子部分19を重ねる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
端子部が形成された一方の基板と他方の基板とを対向配置し、前記一方の基板と前記他方の基板の間に液晶組成物が封入されてなる液晶パネルの製造方法において、 前記一方の基板と前記他方の基板を貼り合せて液晶パネルを形成し、 しかる後に、前記端子部上に形成された配向膜を大気圧下におけるプラズマ処理により除去する工程を有する ことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
IPC (3件)：
G02F1/1345 ,  G09F9/00 ,  H01L21/3065
FI (3件)：
G02F1/1345 ,  G09F9/00 338 ,  H01L21/302 101E
Fターム (19件)：
2H092GA33 ,  2H092GA35 ,  2H092GA41 ,  2H092GA43 ,  2H092GA44 ,  2H092MA19 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092NA15 ,  2H092NA25 ,  5F004DA22 ,  5F004DA26 ,  5F004DB03 ,  5F004DB25 ,  5F004EA38 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (8件)
  • 特開昭63-049788
  • 特開昭50-003358
  • 特開昭59-195221
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