特許
J-GLOBAL ID：200903005415463020
水溶性フォトレジスト組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287383
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119420
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 高精細化されたシャドウマスクやリードフレーム等の電子部品等の製造に使用できるレジストの感度、解像度、耐エッチング性に優れたカゼイン系ノークロムエッチングレジストの提供。【解決手段】 カゼインと水溶性感光剤からなる水溶性感光性組成物に有機酸のカルシウム塩を少なくとも一種類を含有せしめることを特徴とする水溶性フォトレジスト組成物。
請求項（抜粋）：
カゼインと水溶性感光剤からなる水溶性感光性組成物に有機酸のカルシウム塩を少なくとも一種類を含有せしめることを特徴とする水溶性フォトレジスト組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/004 501
, C08K 5/098
, C08L 89/00
, G03F 7/04
, H01J 9/14
, H01L 23/50
, C23F 1/00 102
, G02B 5/20 101
G03F 7/004 501
, C08K 5/098
, C08L 89/00
, G03F 7/04
, H01J 9/14 G
, H01J 9/14 C
, H01L 23/50
, C23F 1/00 102
, G02B 5/20 101
