特許
J-GLOBAL ID：200903005444040529
磁気抵抗効果膜およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-303880
公開番号（公開出願番号）：特開平11-144956
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 スピンバルブ膜の特性向上と安定な製造方法を提供する。【解決手段】 第1および第2の強磁性層の中間に非磁性層を設け、さらに反強磁性層を第2の強磁性層に隣接して形成したスピンバルブ膜において、反強磁性層と第二の強磁性層は(111)面で接するfcc構造を持たせ、(110)面の格子間隔のミスフィットを5〜6.5%に制御することで、従来の課題を解決した。
請求項（抜粋）：
第1および第2の強磁性層が非磁性層を中間に配して形成されると共に、前記第2の強磁性層に隣接して反強磁性層が設けられる磁気抵抗効果膜において、前記反強磁性層および第2の磁性層はそれぞれ(111)面で接するfcc構造を有し、(110)面の格子面間隔を各々dAF(110)、dF(110)とすると、(dAF(110)-dF(110))/dF(110)で定義されるミスフィットが5〜6.5%の範囲に制御されていることを特徴とする磁気抵抗効果膜。
IPC (3件)：
H01F 10/16
, G11B 5/39
, H01L 43/08
H01F 10/16
, G11B 5/39
, H01L 43/08 Z
