特許

J-GLOBAL ID：200903005508134930

搬送ユニット、搬送装置及び搬送装置の制御システム

発明者： 四元 正 ,  黒田 雄一
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-004782
公開番号（公開出願番号）：特開2001-195129
出願日： 2000年01月13日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 走行軌道、載置台、製造装置等の交換、増設、レイアウト変更等を自由に行うことができ、少ない労力及び時間で稼働させることができる搬送装置及び搬送ユニットを提供する。さらに、搬送効率を向上することができる搬送装置及びその制御システムを提供する。【解決手段】 搬送装置は複数の搬送ユニット10をユニット間連結体20により相互に連結して構築されている。搬送ユニット10は、搬送車13を走行させる走行軌道11と、搬送物16を供給、回収する載置台14と、走行軌道11と載置台14との間を連結する連結体12とを備えている。ユニット間連結体20は各々の搬送ユニット10の連結体12に配設されている。さらに、搬送装置においては、一本の走行軌道に2本の走行路を配設し、この2本の走行路に互いに干渉しないで走行する搬送車を備える。

請求項（抜粋）：

搬送車の所定単位長を有する走行軌道と、前記走行軌道に対応して配設された搬送物の載置台と、前記走行軌道と載置台との間を連結する連結体とを少なくとも備えたことを特徴とする搬送ユニット。

IPC (4件)：

G05D 1/02 ,  B61B 13/06 ,  B65G 1/00 501 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G05D 1/02 P ,  B61B 13/06 D ,  B65G 1/00 501 C ,  H01L 21/68 A

Fターム (27件)：

3F022AA08 ,  3F022KK11 ,  3F022LL12 ,  3F022MM01 ,  3F022MM03 ,  3F022MM08 ,  3F022MM13 ,  3F022MM45 ,  3F022PP06 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA03 ,  5F031GA59 ,  5H301AA02 ,  5H301AA09 ,  5H301BB05 ,  5H301CC03 ,  5H301CC06 ,  5H301DD07 ,  5H301DD17 ,  5H301EE03 ,  5H301EE28 ,  5H301KK02 ,  5H301KK04 ,  5H301KK08 ,  5H301KK12 ,  5H301KK18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特許第2726903号
  
• 特開昭49-132678
  
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-013925   出願人：大日本スクリーン製造株式会社