特許
J-GLOBAL ID:200903005521111094
光学式原点検出センサ及びその原点検出方法並びに光学式エンコーダ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-314125
公開番号(公開出願番号):特開2005-083808
出願日: 2003年09月05日
公開日(公表日): 2005年03月31日
要約:
【課題】例えば光出射口幅が大きい光源で、且つ光強度分布が経時的に変化しても高精度な原点検出を可能にした光学式原点検出センサを提供する。【解決手段】光源1と、光源1から出射された光を通過させる複数の原点検出用光開口2を有するスリット7と、スリット7に対して相対的に移動し、回折格子パターン4を有するスケール3と、スケール3を経由した光を検出するための複数の原点検出用光検出器6と、を有する光学式原点検出センサであって、スリット7の原点検出用光開口2と原点検出用光検出器6とは、スケール3が少なくとも原点位置にあるときに、スケール3を経由した光がすべての原点検出用光検出器6に入射するように配置される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、
前記光源から出射された光を通過させる複数の原点検出用光開口を有する光学部材と、
前記光学部材に対して相対的に移動し、原点検出用光学素子を有するスケールと、
前記スケールを経由した光を検出するための複数の原点検出用光検出器と、
を有する光学式原点検出センサであって、
前記光学部材の前記原点検出用光開口と前記原点検出用光検出器とは、前記スケールが少なくとも原点位置にあるときに、前記スケールを経由した光がすべての前記原点検出用光検出器に入射するように配置されることを特徴とする光学式原点検出センサ。
IPC (1件):
FI (2件):
Fターム (7件):
2F103BA32
, 2F103CA01
, 2F103CA02
, 2F103DA04
, 2F103EA01
, 2F103EB16
, 2F103EB33
引用特許:
審査官引用 (16件)
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特開昭56-098604
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位置検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-196685
出願人:松下電器産業株式会社
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特開昭63-109321
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特開昭63-078021
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特開昭56-098604
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特開昭63-109321
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特開昭63-078021
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光学式エンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-031373
出願人:株式会社安川電機
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特開昭58-014012
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光電式エンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-085546
出願人:株式会社ミツトヨ
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特開平2-297020
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特開昭63-078021
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変位情報検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-303610
出願人:キヤノン株式会社
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特開昭63-037216
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光学式エンコーダーおよびそのセンサーヘッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-024482
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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特開平3-107715
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