特許
J-GLOBAL ID：200903005536207322
送り装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-245450
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074685
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 高速・高精度の送りが可能でかつ構成の自由度の高い送り装置を提供する。【解決手段】 定盤1と、定盤の基準面上で第1方向に移動可能に案内された第1移動体3と、これを第1方向に駆動する第1移動手段と、第1移動体に対し定盤の基準面上で第1方向と直角な第2方向に移動可能に装着されかつ物体を搭載する第2移動体5と、第2移動体を第2方向に駆動する第2移動手段7と、第2移動手段が第1移動体とは独立に定盤の基準面に平行に前記第1方向にのみ移動できるように第2移動手段を第2方向に支持する支持手段100と、第2の移動手段を第1方向に駆動する制御手段110,111と、第1移動手段および支持手段を支持する11基台と、基台と定盤間に介装された振動除去手段13とを具備する。
請求項（抜粋）：
上面に基準面を有する定盤と、前記定盤の基準面上で第1の方向に移動可能に案内された第1の移動体と、前記第1の移動体を前記第1の方向に駆動する第1の移動手段と、前記第1の移動体に対し前記定盤の基準面上で前記第1の方向と直角な第2の方向に移動可能に装着されかつ物体を搭載する第2の移動体と、前記第2の移動体を前記第2の方向に駆動する第2の移動手段と、前記第2の移動手段が前記第1の移動体とは独立に前記定盤の基準面に平行に前記第1の方向にのみ移動できるように前記第2の移動手段を前記第2の方向に支持する支持手段と、前記第2の移動手段を前記第1の方向に駆動する制御手段と、前記第1の移動手段および前記支持手段を支持する基台と、前記基台と定盤間に介装された振動除去手段とを具備したことを特徴とする送り装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 503 A
