光学式変位測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234546
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065529
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】安定して、高い分解能で位置検出が可能な光学式変位測定装置を提供する。【解決手段】光学式変位測定装置40では、2つの可干渉光La1,La2の光路を回折格子11の格子面11aに垂直な方向に対して傾いた方向、すなわち、傾斜面m2上に形成して、この2つの可干渉光La1,La2を上記回折格子11の格子面11a上の同一点に照射する。そして、この光学式変位測定装置では、この2つの可干渉光La1,La2により生じる2つの回折光Lb1,Lb2の位相差を求めて、回折格子11の相対移動位置を検出する。

請求項（抜粋）：

可干渉光が照射され、この可干渉光に対して格子ベクトルに平行な方向に相対移動し、この可干渉光を回折する回折格子と、可干渉光を発光する発光手段と、上記発光手段により発光された可干渉光を2つの可干渉光に分割して、上記回折格子に対して各可干渉光を照射する照射光学系と、上記各可干渉光が上記回折格子により回折されて得られる2つの回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉した2つの回折光を受光して干渉信号を検出する受光手段と、上記受光手段が検出した干渉信号から上記2つの回折光の位相差を求めて、上記回折格子の相対移動位置を検出する位置検出手段とを備え、上記照射光学系は、上記2つの可干渉光の光路を上記回折格子の格子面に垂直な方向に対して傾いた平面上に形成し、この2つの可干渉光を上記回折格子の格子面上の同一点に照射することを特徴とする光学式変位測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01B 9/02 , G01D 5/38

FI (3件)：

G01B 11/00 G , G01B 9/02 , G01D 5/38 A

Fターム (31件)：

2F003AA03 , 2F003AA16 , 2F003AA20 , 2F003AA21 , 2F003AB02 , 2F003AC02 , 2F003AC03 , 2F003AD01 , 2F064AA04 , 2F064BB01 , 2F064CC04 , 2F064DD08 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG49 , 2F064HH01 , 2F064JJ01 , 2F065AA02 , 2F065AA22 , 2F065DD03 , 2F065FF48 , 2F065FF51 , 2F065GG04 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ15 , 2F065LL12 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065QQ51

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭61-083911
格子干渉型変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-134494 出願人：株式会社ミツトヨ
特開平2-167427

審査官引用 (3件)

格子干渉型変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-134494 出願人：株式会社ミツトヨ
特開平2-167427
特開昭61-083911

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