特許
J-GLOBAL ID：200903005570303640
レーザ生成プラズマ方式極端紫外光光源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-020857
公開番号（公開出願番号）：特開2006-210157
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】 高速でSnターゲットをプラズマ生成部に供給でき、かつ、デブリの発生を極力抑制することができ、さらには、13.5nm近傍の発光スペクトルが鋭くできるLPP方式極端紫外光光源を提供すること。【解決手段】 液体SnH4 供給部2は、液体SnH4 を加圧する加圧・冷却室2aと、液体SnH4 を液滴あるいは液体ジェットとしてチャンバ1内に供給するためのノズル部2bを有する。液体SnH4 は、加圧・冷却室2aで加圧され、ノズル部2bから液体ジェットまたは液滴としてチャンバ1内に噴出される。噴出したSnH4 の液体ジェットあるいは液滴はチャンバ1内の真空中を進み、レーザビーム照射部Bに到達する。ここで、レーザ装置5から出射され集光されたプラズマ生成用レーザビームが照射され、プラズマが生成される。これにより、13.5nmのEUV光が得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
SnH4 の液滴あるいは液体ジェットをターゲットにするレーザ生成プラズマ方式の極端紫外光光源において、
SnH4 を冷却することで液体状態に維持し、該液体状態のSnH4 を加圧状態にするSnH4 加圧冷却室と、
該液体状態で加圧されたSnH4 を液滴あるいは液体ジェットで放出するノズル部と、 該放出された液滴あるいは液体ジェットのSnH4 を所望の位置でレーザビームによりプラズマ化するためのプラズマ生成部と、
該レーザビームを出射するレーザ装置とを有する
ことを特徴とするレーザ生成プラズマ方式極端紫外光光源。
IPC (5件)：
H05G 2/00
, G03F 7/20
, G21K 5/02
, G21K 5/08
, H01L 21/027
H05G1/00 K
, G03F7/20 521
, G21K5/02 X
, G21K5/08 X
, H01L21/30 531A
4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB21
, 4C092AB30
, 4C092AC09
, 4C092BD17
, 4C092BD18
, 5F046GA03
, 5F046GC03
