像検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042714
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316191
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【目的】検出光学系の光軸に対する被検面の傾きや軸外しの構成によって生ずる前記被検物体の像の歪みの影響を補正し高精度な被検物体の像の検出の実現。【構成】被検物体に対して光を照射する光照射系と、該光照射系により照射された被検物体からの光を集光して前記被検物体の像を形成する検出光学系と、該検出光学系により形成される前記被検物体の像を光電検出する光電検出器と、該光電検出器からの出力に基づいて画像処理する処理系とを有する像検出装置において、前記検出光学系は、該検出光学系の基準光軸と交差する光軸を有する集光鏡を含み、前記処理系は、前記基準光軸に対する前記被検物体上の被検面の傾き及び前記集光鏡によって生ずる前記被検物体の画像歪みの影響を除去するための画像歪み補正系を有する構成とした。

請求項（抜粋）：

被検物体に対して光を照射する光照射系と、該光照射系により照射された被検物体からの光を集光して前記被検物体の像を形成する検出光学系と、該検出光学系により形成される前記被検物体の像を光電検出する光電検出器と、該光電検出器からの出力に基づいて画像処理する処理系とを有する像検出装置において、前記検出光学系は、該検出光学系の基準光軸と交差する光軸を有する集光鏡を含み、前記処理系は、前記基準光軸に対する前記被検物体上の被検面の傾き及び前記集光鏡によって生ずる前記被検物体の画像歪みの影響を除去するための画像歪み補正系を有することを特徴とする像検出装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/88 645 A , G01B 11/30 G , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-354365 出願人：有限会社ニュークリエイション
特開昭55-164304
特開平4-297028

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