特許
J-GLOBAL ID：200903048627307355
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-354365
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198620
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の状態が実時間でしかも正確に観測できる検査装置を提供することを目的としている。【構成】 点光源2からの照射光を平行光束として試料表面4aに導くとともに、試料表面4aから戻って来た反射光を集束する凹面反射鏡3と、凹面反射鏡3の後像空間焦平面に対応する位置またはその近傍に配設された開口絞り6とを備える。
請求項（抜粋）：
点光源からの照射光を平行光束として試料表面に導くとともに、その試料表面から戻って来た反射光を集束する凹面反射鏡と、その凹面反射鏡の後像空間焦平面に対応する位置またはその近傍に配設された開口絞りとを備える検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G02B 27/54
, H01L 21/66
