特許
J-GLOBAL ID：200903005603072887

電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器

発明者：
鹿川 祐一

鹿川 祐一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264653
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075817
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】【課題】 液晶装置等の電気光学装置において、電子ビーム描画における走査方向によって生じる描画むらを有するマスクを用いて形成されると共に各画素の開口領域を規定する遮光膜の存在に起因して生じる表示画像における周期的な表示むらを低減する。【解決手段】 電気光学装置は、一対のTFTアレイ基板(10)及び対向基板(20)間に液晶層(50)が挟持されてなる。TFTアレイ基板及び対向基板上には夫々、格子状の第1遮光膜(601)及び第2遮光膜(602)が形成されている。電子ビーム描画の走査方向に対応するX方向に対して垂直な断面内において、第1遮光膜のX方向に延びる帯状部分と第2遮光膜のX方向に延びる帯状部分とは、Y方向に所定距離だけ相対的にずらされている。
請求項（抜粋）：
一対の第1及び第2基板間に電気光学物質が挟持されてなり、前記第1及び第2基板を相互に貼り合せるシール材と、前記画像表示領域内における前記第1及び第2基板のうち少なくとも一方に設けられた表示用電極と、前記画像表示領域内における前記第1基板上に設けられており第1方向に延びる帯状部分及び該第1方向に交わる第2方向に延びる帯状部分を含むと共に電子ビーム描画で形成されたマスクを用いたフォトリソグラフィによって形成されている格子状の第1遮光膜と、前記画像表示領域内における前記第2基板上に設けられており前記第1方向に延びる帯状部分及び前記第2方向に延びる帯状部分を含むと共に電子ビーム描画で形成されたマスクを用いたフォトリソグラフィによって形成されている格子状の第2遮光膜とを備えており、前記画像表示領域内では、前記第1及び第2遮光膜のうち少なくとも一方により各画素の開口領域の輪郭が規定されており、前記第1方向に垂直な断面内において、前記第1遮光膜の前記第1方向に延びる帯状部分と前記第2遮光膜の前記第1方向に延びる帯状部分とは、前記第2方向に所定距離だけ相対的にずらされていることを特徴とする電気光学装置。
IPC (11件)：
G02F 1/1335 500 ,  G02B 5/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1368 ,  G03B 21/00 ,  G03B 21/14 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H04N 5/74
FI (11件)：
G02F 1/1335 500 ,  G02B 5/00 B ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1368 ,  G03B 21/00 E ,  G03B 21/14 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 C ,  H04N 5/74 K ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 619 B
Fターム (56件)：
2H042AA09 ,  2H042AA15 ,  2H042AA28 ,  2H048BA11 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H091FA35 ,  2H091FB08 ,  2H091FC26 ,  2H091FD02 ,  2H091GA13 ,  2H091LA12 ,  2H091LA30 ,  2H091MA07 ,  2H092JA24 ,  2H092JB52 ,  2H092JB54 ,  2H092MA13 ,  2H092NA01 ,  2H092PA09 ,  2H092RA05 ,  5C058AB06 ,  5C058BA35 ,  5C058EA02 ,  5C058EA26 ,  5C094AA03 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094ED15 ,  5F110AA21 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110HL07 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27 ,  5F110NN46 ,  5F110NN47 ,  5F110NN54 ,  5F110NN55 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ19
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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