特許

J-GLOBAL ID：200903005610976929

薄膜素子を有するセンサ

発明者： マーティン ツェヒナル ,  クリストフ トロイトラー ,  マンフレート レンプケ ,  ハンス ヘヒト ,  イリ マレク ,  ヘルベルト ゲーベル ,  マーティン ヴィルマン ,  ハンス-ウルリッヒ グルーバー ,  アンドレアス ロック ,  クラウス ハイアース ,  イェルク ブート
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-059535
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267720
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 電気抵抗の温度依存性を有する薄膜素子(4)を有するセンサ(1)を提供する。【解決手段】 該センサは、薄膜素子(4)が白金層を有し、該白金層にジルコニウム又は酸化ジルコニウムがドープされている。該薄膜素子(4)は、質量流量センサを形成するために、膜(3)の上に配置されていてもよい。【効果】 該センサは、従来のセンサに比較して、改良された薄膜素子の温度依存性の長時間安定性、及び、少ない割合のジルコニウム又は酸化ジルコニウムを有する白金層を使用することにより、安定化された電気抵抗の温度依存性を有する。

請求項（抜粋）：

薄膜素子(4)を有するセンサ(1)であって、該薄膜素子(4)が電気抵抗の温度依存性を有する形式のものにおいて、薄膜素子(4)が白金層を有し、該白金層にジルコニウム又は酸化ジルコニウムがドープされていることを特徴とする、薄膜素子を有するセンサ

IPC (3件)：

G01F 1/68 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (2件)：

G01F 1/68 ,  H01L 27/04 P

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 流量センサのための測定子及びその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-033688   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 特開昭60-091212
  
• 特開昭62-043522
  
• 特開平2-044211