特許

J-GLOBAL ID：200903065501212792

流量センサのための測定子及びその製法

発明者： クリストフ トロイトラー ,  ロルフ ベンツ ,  ホルスト ミュンツェル ,  シュテッフェン シュミット ,  エッカルト ライレン ,  アンドレアス ロック
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033688
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271308
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【解決手段】 流量センサのための測定子及びこの測定子の製法において、加熱器、温度センサ及び導体路が1つの白金層9から構造化されている。さらに測定子1と結合線材11との接触のための結合領域6のために別の金属層が設けられる。【効果】 良好な長時間安定性を有する高価値の測定子が製作される。

請求項（抜粋）：

流量センサのための測定子(1)であって、この測定子(1)がダイヤフラム(2)と、このダイヤフラム上の少なくとも1つの加熱器(3)と、少なくとも1つの温度センサ(4)とを備えており、これらが1つの白金層から構造化されており、かつ、測定子(1)上に、加熱器及び温度センサの接触接続のための少なくとも1つの導体路(5)が配置されており、この導体路も同様に白金層(9)から構造化されている形式のものにおいて、測定子(1)上に結合領域(6)が設けられており、この結合領域に結合線材(11)が固定可能であり、かつ、この結合領域(6)内に白金以外の金属から成る別の金属層(21,22,23)が設けられていることを特徴とする流量センサのための測定子。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12

FI (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• センサ装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-064176   出願人：トキコ株式会社
• 特開平4-212021
  
• 半導体素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-179491   出願人：富士電機株式会社
• 半導体流体センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-307490   出願人：本田技研工業株式会社