特許

J-GLOBAL ID：200903005623289050

吸着パッド

発明者： 大西 正司 ,  氏家 謙二
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-051739
公開番号（公開出願番号）：特開2001-239488
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：

【要約】【課題】ガラス板、ウェハー、金属板等のワークに吸着跡や吸着汚れを発生させず、また吸着能力も低下させない。【解決手段】開口側が拡径で弾性ゴムからなるラッパ状の吸着パッドにおいて、該吸着パッドの吸着面を低通気性の樹脂カバーで被覆し、該樹脂カバーの略中心に少なくとも1つの切り込み部、及び/又は穿孔部を設け、該切り込み部の形状が、十字形状等のクロス形状やY字形状である。

請求項（抜粋）：

開口側が拡径で弾性ゴムからなるラッパ状の吸着パッドにおいて、該吸着パッドの吸着面を低通気性または非通気性の樹脂カバーで被覆し、該樹脂カバーの略中心に少なくとも1つの切り込み部、及び/又は穿孔部を設けたことを特徴とする吸着パッド。

IPC (4件)：

B25J 15/06 ,  B66C 1/02 ,  F16B 47/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 15/06 D ,  B66C 1/02 B ,  F16B 47/00 S ,  H01L 21/68 B

Fターム (25件)：

3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT06 ,  3C007FU00 ,  3C007FU01 ,  3C007NS09 ,  3F004EA02 ,  3F004FA01 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB02 ,  3F061CC00 ,  3F061CC01 ,  3F061DB04 ,  3J038AA02 ,  3J038CA09 ,  3J038CA20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA32 ,  5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-021252   出願人：株式会社東京精密