特許

J-GLOBAL ID：200903005685846923

導電性透明基材およびその製造方法

発明者： 笘井 重和 ,  海上 暁
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 中村 静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247167
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092037
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 大面積、高精細の表示材料に好ましく用いられる導電性透明基材を提供する。【解決手段】 主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を、インジウム元素および亜鉛元素の原子比In/(In+Zn)が0.8以上0.9未満となるように含有する非晶質酸化物からなり、比抵抗が2.0×10-4Ω・cm以下であり、表面の凹凸が10nm以内である透明導電膜が透明基板上に設けられていることを特徴とする導電性透明基材。

請求項（抜粋）：

主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を、インジウム元素および亜鉛元素の原子比In/(In+Zn)が0.8以上0.9未満となるように含有する非晶質酸化物からなり、比抵抗が2.0×10-4Ω・cm以下であり、表面の凹凸が10nm以内である透明導電膜が透明基板上に設けられていることを特徴とする導電性透明基材。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 503

FI (5件)：

H01B 5/14 A ,  C23C 14/08 K ,  C23C 14/34 A ,  C23C 14/34 R ,  H01B 13/00 503 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 導電性透明基材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-132030   出願人：出光興産株式会社
• 特開平3-249171