搬送装置及び製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079088
公開番号（公開出願番号）：特開平11-334810
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】本発明は半導体搬送装置に関し、従来の半導体搬送装置に比較して、搬送時間を小さく、装置のコストを小さく、設置面積を小さく、および装置の信頼性を高めた装置構成を提供することにある。【解決手段】半導体ウエハを収納したキャリアを保管する棚を備え、該保管棚と、複数の半導体製造装置、又は検査装置のワーク受け渡し部との間を、前記キャリアを搬送、および移載を行う搬送移載機構と、前記搬送移載機構の動作領域、および前記棚を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離する手段とを備えたことにより達成される。【効果】従来のストッカと工程内搬送装置を統合できるので、コストが小さく、クリーンルームの占有面積が小さく、搬送待ち時間が少ない半導体搬送装置が提供できる。

請求項（抜粋）：

被処理物、または少なくとも1個の被処理物を収納したキャリアを保持するハンドを少なくとも1個備え、前記被処理物、または前記キャリアを保持して搬送可能であり、前記被処理物、または前記キャリアを前記ハンドの可動範囲内の任意の位置へ載置することが可能な搬送移載機構を備え、前記搬送移載機構のハンドの到達範囲内に、ワーク受け渡し部を設けた少なくとも1台の製造装置、または検査装置が接続され、前記搬送移載機構のハンドの到達範囲内に、前記被処理物、またはキャリアを保管する棚と、前記搬送移載機構のハンドが到達可能な範囲、及び前記搬送移載機構に接続される前記製造装置、または検査装置の中を管理領域として、その領域内に在る前記被処理物、または前記キャリア内の被処理物の存在位置情報、及び処理情報を管理するコントローラとを更に備え、前記コントローラが、前記領域内に在る前記被処理物、または前記キャリア内の被処理物の中で、次に処理すべき、又は棚へ保管すべき被処理物を決定し、前記コントローラの指示に従って前記搬送移載機構が、前記製造装置または検査装置のワーク受け渡し部の間を、又は前記棚と前記ワーク受け渡し部との間を、前記決定された被処理物またはキャリア内の被処理物を搬送する、ことを特徴とする搬送装置。

IPC (5件)：

B65G 1/00 501 , B65G 1/00 535 , B65G 1/137 , H01L 21/02 , H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 1/00 501 A , B65G 1/00 535 , B65G 1/137 A , H01L 21/02 Z , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

自動搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-055554 出願人：株式会社日立製作所

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