特許
J-GLOBAL ID：200903005701526810
現像廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウムの精製回収法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229331
公開番号（公開出願番号）：特開平10-053567
出願日： 1996年08月12日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】【課題】 ポジ型レジスト現像液として使用された水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液から、フォトリソグラフィー工程に再利用可能な高純度水酸化テトラアルキルアンモニウムを工業的有利に精製、回収する。【解決手段】 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液を濃縮し、さらに冷却することによって水酸化テトラアルキルアンモニウムを晶出させ、結晶として回収する。または、水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液を中和処理して、不溶化析出物を除去し、次いで、陽イオン交換膜を用いた電解槽にて電気透析を行い、さらに得られた電解液を濃縮し、次いで冷却することによって水酸化テトラアルキルアンモニウムを晶出させ、結晶として回収する。
請求項（抜粋）：
ポジ型レジスト現像液として使用された水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液を濃縮し、さらに冷却することによって、水酸化テトラアルキルアンモニウムを晶出させ、結晶として得ることを特徴とする水酸化テトラアルキルアンモニウムを精製回収する方法。
IPC (11件)：
C07C211/63
, B01D 9/02 601
, B01D 9/02 602
, B01D 9/02 610
, B01D 9/02 619
, B01D 61/44 500
, B01D 61/44 510
, C07C209/84
, C25B 3/00
, G03F 7/26
, H01L 21/027
C07C211/63
, B01D 9/02 601 G
, B01D 9/02 602 B
, B01D 9/02 610 A
, B01D 9/02 619 A
, B01D 61/44 500
, B01D 61/44 510
, C07C209/84
, C25B 3/00
, G03F 7/26
, H01L 21/30 569 Z
