有機EL表示装置の製造装置及び製造方法並びに有機EL表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小林久夫 , 安島清 , 佐々木宗治 , 大村昇 , 高梨範夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-023320
公開番号（公開出願番号）：特開2005-216724
出願日： 2004年01月30日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】有機EL素子の特性が高い有機EL表示装置を製造することができ、またサイズが小型の有機EL表示装置の製造装置及びこの製造装置を用いた有機EL表示装置の製造方法並びにこの製造装置で製造された発光効率等の特性の高い有機EL表示装置を提供する。【解決手段】有機EL層の一部又は全部を蒸着によって成膜し、有機EL素子の少なくとも1つの電極をスパッタによって成膜する有機EL表示装置の製造装置であって、1つのチャンバー1に、蒸着に使用される蒸着源3とスパッタに使用されるターゲット4が設けられ、有機EL表示装置の基板2を移動させずに蒸着とスパッタを行うものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

有機EL層の一部又は全部を蒸着によって成膜し、有機EL素子の少なくとも1つの電極をスパッタによって成膜する有機EL表示装置の製造装置であって、 1つのチャンバーに、前記蒸着に使用される蒸着源と前記スパッタに使用されるターゲットが設けられ、有機EL表示装置の基板を移動させずに前記蒸着と前記スパッタを行うことを特徴とする有機EL表示装置の製造装置。

IPC (3件)：

H05B33/10 , C23C14/22 , H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/10 , C23C14/22 C , H05B33/14 A

Fターム (15件)：

3K007AB03 , 3K007AB13 , 3K007AB14 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029AA09 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029DA12 , 4K029DB06 , 4K029DC05

引用特許：

出願人引用 (1件)

EL表示装置の作製方法及び薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-221835 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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