基板処理システム、基板処理装置管理方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-205110
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022188
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】基板処理装置にソフトウェアモジュールがインストールされたときの各ソフトウェアモジュール間の不整合に起因した障害を未然に防止することができる基板処理システムを提供する。【解決手段】ある基板処理装置1のシステム制御部100またはユニット制御部115にソフトウェアモジュール128がインストールされたときに、その時点でのシステム制御部100およびユニット制御部115のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュール128のバージョン情報を蓄積してバージョン管理テーブル241を構築する。整合性確認部235は、相互に整合性を有するソフトウェアモジュール128のバージョン情報を登録した確認テーブル242を参照しつつバージョン管理テーブル241から各ソフトウェアモジュール間の整合性を確認する。

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を行う処理ユニットと、装置全体を制御するシステム制御部と、前記処理ユニットを個別に制御するユニット制御部と、を備えた基板処理装置とコンピュータとをネットワーク経由にて結合した基板処理システムであって、前記システム制御部または前記ユニット制御部にソフトウェアモジュールがインストールされたときに、その時点で前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの整合性を確認する整合性確認手段を備えることを特徴とする基板処理システム。

IPC (4件)：

G06F 9/445 , G03F 7/20 521 , H01L 21/02 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/20 521 , H01L 21/02 Z , G06F 9/06 610 L , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 562

Fターム (5件)：

5B076AA02 , 5B076AC01 , 5B076AC03 , 5B076AC07 , 5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (10件)

制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-368423 出願人：東京エレクトロン株式会社
運転監視装置および遠隔監視システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-085029 出願人：日立造船株式会社
バージョンアップ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-024904 出願人：キヤノン株式会社

全件表示

前のページに戻る