特許
J-GLOBAL ID：200903005820372180
金属膜除去のための平坦化組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-541942
公開番号（公開出願番号）：特表2001-518948
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：
【要約】平坦化組成物は、本発明の実施態様において説明されている。この組成物は、重量平均粒径が約0.03μm〜約2μmの範囲に収まり、かつその粒子の少なくとも約90重量%が平均粒径に対し約±20%以下であるような粒径の変動を有する点で単分散であるような球状シリカ粒子を含んでいる。液体担体は、ROHを20重量%まで、NR4OH又はNR2NR3OHである水酸化アミン(式中各Rは、HCH3、CH2CH3、C3H7、又はC4H9のいずれかである。)を0.1〜10重量%;酸化剤を約0.5〜15重量%;pHを約7.0〜約0.5の間に収めるように調節するための酸安定剤;及び残りは水を含有する。本発明は更に、薄層化、研磨及び平坦化の装置、並びに薄層化、研磨及び平坦化の操作を行う方法に関する。
請求項（抜粋）：
重量平均粒径が約0.03μm〜約2μmの範囲に収まり、かつ該粒子の少なくとも約90重量%が重量平均粒径に対し約±20%以下であるような粒径の変動を有する点で単分散であるような、球状シリカ粒子を約0.5〜30重量%;並びにROHを20重量%まで;NR4OH及びNR2NR3OHからなる群から選択される水酸化アミン(式中各RはH、CH3、CH2CH3、C3H7、又はC4H9のいずれかである。)を0.1〜10重量%;過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、窒化第二鉄、シアン化第二鉄、ヨウ素酸ナトリウム、過酢酸からなる群から選択された酸安定剤;及び残りは水を含有する液体担体を含む、pHが約0.5〜約7である平坦化組成物。
引用特許：
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