イオナイザー用放電電極

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312994
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140127
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】半導体のクリーンルームに使用するのに最適で、しかも高電圧を印加しても損傷しないイオナイザー用放電電極を提供する。【構成】多結晶珪素を母材とする棒材11を備え、この棒材11においてイオナイザーの接触子から高電圧を受ける部位11a′の外周面に、珪素母材より電気抵抗の低い導電層12が形成され、棒材の先端部11bでは珪素母材が露出している。

請求項（抜粋）：

多結晶珪素を母材とする棒材を備え、この棒材においてイオナイザーの接触子から高電圧を受ける部位の外周面に、多結晶珪素母材より電気抵抗の低い導電層が形成され、棒材の先端部では多結晶珪素母材が露出していることを特徴とするイオナイザー用放電電極。

IPC (3件)：

H01T 23/00 , H01T 19/04 , H05F 3/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-188699
特開平4-154099
特開平1-266865

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