光のコヒーレンス低減方法及びその装置、並びに、照明方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-137823
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326827
出願日： 1998年05月20日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】コヒーレント光のコヒーレンスを低減させるに際し、分岐した光ビームにコヒーレント長以上の光路長差を与えなくても、コヒーレンスを十分に低減すること。【解決手段】複数の互いに異なる波長で発振したマルチモードレーザー光を複数に分割し、分岐された複数のマリチモードレーザー光の間に、下記式1を満たすような一定の光路長差Lを与え、前記複数のマルチモードレーザー光を同一面上に配列させる。c〔nτd +τt /2〕≦L≦c〔(n+1)τd -τt /2〕...式1(但し、前記式1において、cは光が伝搬する媒質中での光速度、nは任意の自然数を示す。)

請求項（抜粋）：

複数の互いに異なる波長で発振した光ビームを複数に分岐し、分岐されたこれらの複数の光ビームの間に一定の光路長差を与えた後、前記複数の光ビームを単一の光束又は集合光束とする、光のコヒーレンス低減方法。

IPC (2件)：

G02B 27/10 , G02B 27/00

FI (2件)：

G02B 27/10 , G02B 27/00 V

引用特許：

審査官引用 (8件)

微小欠陥検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-019489 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
特開昭61-262327
特開昭61-262327

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