キャスター付ヒーター

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金坂憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-063775
公開番号（公開出願番号）：特開平10-244804
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】ヒーターの重量が増大しても、容易に搬送移動することができるキャスター付ヒーターを提供する。【解決手段】縦型熱処理装置におけるベースプレート8上に水平方向から搬送移動されて設置されるヒーター11において、このヒーター11に搬送移動用のキャスター22を設けている。

請求項（抜粋）：

縦型熱処理装置におけるベースプレート上に水平方向から搬送移動されて設置されるヒーターにおいて、このヒータに搬送移動用のキャスターを設けたことを特徴とするキャスター付ヒーター。

IPC (6件)：

B60B 33/08 , B60B 33/06 , H01L 21/205 , H01L 21/22 511 , H01L 21/31 , H01L 21/324

FI (6件)：

B60B 33/08 A , B60B 33/06 Z , H01L 21/205 , H01L 21/22 511 A , H01L 21/31 E , H01L 21/324 K

引用特許：

審査官引用 (5件)

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