特許
J-GLOBAL ID：200903005907361257
研磨パッド及び板状材の研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒井 潤
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213174
公開番号（公開出願番号）：特開平11-048129
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：
【要約】【課題】 研磨パッドの目詰まり防止し、研磨力の安定化及び研磨キズの抑制並びにドレッシング作業の省略を実現し生産性の向上を図る。【解決手段】 板状材4の表面を研磨するための無気孔樹脂材から成る研磨パッド1であって、その表面に幅1〜10mmの複数の溝2が、各溝間に幅0.5〜5mmのランド3を介して形成されている。
請求項（抜粋）：
板状材の表面を研磨するための無気孔樹脂材から成る研磨パッドであって、その表面に幅1〜10mmの複数の溝が、各溝間に幅0.5〜5mmのランドを介して形成されたことを特徴とする研磨パッド。
引用特許：
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