特許
J-GLOBAL ID：200903073492366075

ガラス板研磨パッドとガラス板の研磨方法

発明者：
小沢 洋一

小沢 洋一 について

, 
伊勢田 徹

伊勢田 徹 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-101612
公開番号（公開出願番号）：特開平9-011119
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：
【要約】【課題】従来より大幅に少ない研磨加工量でうねりが少なく、かつ傷やマイクロクラックが浅く少ないガラス表面を得る。また、ドレッシングを省略する。【解決手段】材料試験規格に基づいて測定されたヤング率が1GPa以上で厚さが0.5〜10mmの高分子シート1の表面の主要な領域に幅0.1〜2.0mmの溝2が溝幅の2〜10倍のピッチで形成されているガラス板用研磨パッドを使用する。
請求項（抜粋）：
ガラス板の表面を研磨する研磨パッドであって、材料試験規格に基づいて測定されたヤング率が1GPa以上で厚さが0.5〜10mmの高分子シートからなり、表面の主要な領域に幅0.1〜2.0mmの溝が溝幅の2〜10倍のピッチで形成されていることを特徴とするガラス板用研磨パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ,  B24D 11/00
FI (2件)：
B24B 37/00 C ,  B24D 11/00 A
引用特許：
審査官引用 (11件)
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