特許

J-GLOBAL ID：200903005966144103

化学増幅型ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物、硬化物の形成方法、及び機能素子の製造方法

発明者： 高橋 亨 ,  勝又 直也 ,  前田 浩輝
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-260765
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181976
出願日： 2004年09月08日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】 永久膜として使用される感光性熱硬化性樹脂組成物において、パターン形成後、加熱接着時の流動性に優れ、密着性良好な、接着性及び/または封止性を有する樹脂層を形成できる技術を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂と(C)架橋性ポリビニルエーテル化合物との反応生成物と、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物及び(D)エポキシ樹脂を含むことを特徴とする化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂と(C)架橋性ポリビニルエーテル化合物との反応生成物、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物及び(D)エポキシ樹脂を含むことを特徴とする化学増幅型ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F7/039 ,  G03F7/032

FI (2件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/032

Fターム (16件)：

2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 集積回路素子の接続方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-196255   出願人：東京応化工業株式会社, 日本電気株式会社
• 特許2660943号公報