特許
J-GLOBAL ID：200903005972192853
セラミックグリーンシート積層圧着方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127916
公開番号（公開出願番号）：特開平6-312417
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 セラミックグリーンシートを積層しながら圧着する時の下層側のセラミックグリーンシートの伸びを防止し、積層精度の高いセラミックグリーンシートの積層体を得る。【構成】 積層台3上に積層されたセラミックグリーンシート1の積層体の最上層のセラミックグリーンシート1から、剥離機32により支持フィルム11が剥離される。この剥離機32の底部には、可撓性を有する容器からなる冷却ジャケット38が設けられている。この冷却ジャケット38には、冷却水入口37と冷却水出口36を介して冷却水が循環する。剥離機32が支持フィルム11を剥離する動作の中で、冷却ジャケット38が支持フィルム11に当り、同フィルム11を通してその下のセラミックグリーンシート1を冷却する。
請求項（抜粋）：
積層台上でセラミックグリーンシートを順次積層しながら、加圧板で前記積層したセラミックグリーンシートを加熱すると共に加圧して熱圧着していくセラミックグリーンシート積層圧着方法において、積層された最上層のセラミックグリーンシートの表面を、熱圧着後に冷却することを特徴とするセラミックグリーンシート積層圧着方法。
IPC (3件)：
B28B 11/02
, H01G 4/12 364
, H05K 3/46
