特許
J-GLOBAL ID：200903005977023251
半導体ワークピースを処理するためのプラズマリアクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 今城 俊夫
, 西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-539072
公開番号（公開出願番号）：特表2006-502556
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
半導体ワークピースを処理するためのプラズマリアクタは、チャンバ壁を有し、半導体を支持するワークピース支持体を含むリアクタチャンバ、チャンバ壁の一部を有する電極、オーバヘッド電極に発生器の周波数で電力を供給し、所望のプラズマイオン密度のレベルでチャンバ内にプラズマを維持することができるRF電力発生器を有する。オーバヘッド電極と所望のプラズマイオン密度でチャンバ内に形成されたプラズマは、共に電極-プラズマ共振周波数で共振し、発生器の周波数は、電極-プラズマ共振周波数の少なくとも近くである。リアクタは、更に、プラズマの密度分布の均一性を向上するために、プラズマを掻き回す円形磁界を改善するために、ゆっくりした回転磁界を生成する、ウエハ表面上のプラズマ生成領域の周りにMERIE磁石の組を有する。
請求項（抜粋）：
半導体ワークピースを処理するためのプラズマリアクタであって、
チャンバ壁を有し、前記半導体ワークピースを支持するためのワークピース支持体を含むリアクタチャンバと、
前記ワークピース支持体状にあるチャンバ壁の一部を有するオーバヘッド電極と、
VHF周波数で電力を前記オーバヘッド電極に供給するためのRF電力発生器と;前記オーバヘッド電極は、前記発生器のVHF周波数またはその近くにあるVHF電極-プラズマ共振周波数でプラズマと共に共振するリアクタンスを有しており、
前記発生器と前記オーバヘッド電極間に接続された固定インピーダンス整合素子と;前記固定インピーダンス整合素子は、前記電極-プラズマ共振周波数に少なくとも近いか、または等しいVHF整合素子共振周波数を有しており、
前記ワークピースの上面を横切って回転する磁界を生成するためのMERIE磁界発生器と、
を有することを特徴とするプラズマリアクタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/302 101D
, H05H1/46 M
5F004AA02
, 5F004BA20
, 5F004BB07
, 5F004BB11
, 5F004BB29
, 5F004BB30
, 5F004DB03
審査官引用 (1件)
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真空処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-284255
出願人：株式会社東芝
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