特許

J-GLOBAL ID：200903006007167320

コリメーター光学系及び照明光学装置

発明者： 鈴木 健司 ,  古田 正寛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-074197
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268265
出願日： 2004年03月16日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 変形照明可能なコリメーター光学系【手段】 反射型照明光学装置等に用いられる入射した光束を平行光束に変換するコリメーター光学系において、前記コリメーター光学系が複数に分割された放物面鏡により構成されており、分割された放物面鏡の配置を変えることにより、変形照明を行うものである。具体的には、放物面鏡を4分割し、各々の分割された放物面鏡に駆動機構を設け、放物面鏡の位置を駆動機構により調整する。よって、一つのコリメーター光学系で、輪帯照明、多極照明等の複数の変形照明を形成するための平行光束を得ることができる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

光源からの光束を平行光束に変換するコリメーター光学系において、 前記コリメーター光学系が分割された放物面鏡により構成されており、前記放物面鏡を分離することにより多極照明を行なうことが可能であることを特徴とするコリメーター光学系。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02

FI (6件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 503 ,  G21K1/06 B ,  G21K1/06 C ,  G21K1/06 M ,  G21K5/02 X

Fターム (4件)：

2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 複数の光源を備えた照明系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-224404   出願人：カールツァイスシュティフトゥングトレイディングアズカールツァイス
• 照明装置、投影露光装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232682   出願人：キヤノン株式会社