電子線分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280892
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148215
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】分析位置ずれのない正確な元素分析を行うことができる電子線分析装置を提供する。【解決手段】検出効率が高い二次電子あるいは透過電子等の位置検出手段により試料変位量を計測して特性X線あるいはオージェ電子による分析を行う位置を補正する。

請求項（抜粋）：

電子線を異なる時間に試料を走査し試料からの信号に基づいて画像を形成する第1の画像形成工程と、前記画像から電子線のずれを特定する工程と、特定されたずれ量から電子線を補正する工程と、補正された電子線で試料を走査し試料から発生する特性X線を得る第2の信号取得工程と、前記第2の信号取得工程からの信号に基づいて試料の元素組成等の二次元分布像を形成する第2の画像形成工程と、を有することを特徴する電子線分析方法。

IPC (4件)：

G01N 23/04 , G01N 23/225 , G01N 23/227 , H01J 37/252

FI (4件)：

G01N 23/04 , G01N 23/225 , G01N 23/227 , H01J 37/252 A

Fターム (17件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001BA07 , 2G001BA09 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001FA10 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA11 , 2G001HA07 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA03 , 2G001JA12 , 5C033PP04

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-151749
特開平2-151749
特開平2-176547

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