特許
J-GLOBAL ID：200903006070233049
三次弾性定数による温度安定SAWセンサー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
松原 伸之
, 村木 清司
, 中山 健一
, 橋本 千賀子
, 松嶋 さやか
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-536702
公開番号（公開出願番号）：特表2005-505775
出願日： 2002年10月16日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
基板(23)の上に設けられた変換器(24)を備えている表面弾性波(SAW)センサーであって、その変換器(24)が前記基板(23)の上に特定方向へ向けて置かれ、その結果、弾性波伝播の方向は、基板の三次弾性定数の温度変動量に関連したセンサー出力の温度変動量が、基板の膨脹一次温度係数と基板の一次弾性定数および基板の密度の温度変動量とに関連したセンサー出力の温度変動量の総計に実質的に等しいが符号が反対であるようなものであるSAWセンサー。これによって、センサー出力の温度変化の影響は最小になる。これは、35度の配置で、あるいは垂線に対して3.1度の角度で傾けられた反射格子で達成される。さらに、皿の備わった丈夫なパッケージがもたらされる。特定の用途はトルクの測定である。
請求項（抜粋）：
基板の上に設けられた変換器を備えている表面弾性波(SAW)センサーであって、基板の三次弾性定数の温度変動量に関連したセンサー出力の温度変動量が、基板の膨張線形温度係数と基板の一次弾性定数および基板の密度の温度変動量とに関連したセンサー出力の温度変動量の総計に実質的に等しいが符号が反対となる弾性波伝播の方向に向けて、その変換器が置かれているSAWセンサー。
IPC (4件)：
G01L1/00
, G01L3/10
, H01L41/08
, H01L41/18
G01L1/00 L
, G01L3/10 311
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101A
