特許
J-GLOBAL ID:200903006077040319
強誘電体のドメイン観察方法および装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-247883
公開番号(公開出願番号):特開2004-085399
出願日: 2002年08月28日
公開日(公表日): 2004年03月18日
要約:
【課題】レーザー光を必要とせず、通常のランプ光で観察が可能であり、また反射型、透過型いずれにおいても強誘電体のドメインの観察が可能であり、観察可能範囲を誘電体全般に広げることができる誘電体のドメイン観察方法を提供する。【解決手段】強誘電体のドメイン観察方法において、強誘電体試料1に電場を印加することにより、180度分極方向の異なるドメインに、各々異なった光学スペクトルを生成させ、前記強誘電体試料1表面の各点における光学スペクトルを測定し、前記各点における分極方向を特定し、前記強誘電体試料のドメイン構造を可視化する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
強誘電体試料に電場を印加することにより、180度分極方向の異なるドメインに、各々異なった光学スペクトルを生成させ、前記強誘電体試料表面の各点における光学スペクトルを測定し、前記各点における分極方向を特定し、前記強誘電体試料のドメイン構造を可視化することを特徴とする強誘電体のドメイン観察方法。
IPC (3件):
G01N21/27
, G01N21/21
, H01L27/105
FI (4件):
G01N21/27 A
, G01N21/27 E
, G01N21/21 Z
, H01L27/10 444C
Fターム (14件):
2G059AA03
, 2G059BB08
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE20
, 2G059FF01
, 2G059FF03
, 2G059GG04
, 2G059JJ01
, 2G059JJ19
, 2G059KK02
, 2G059MM01
, 5F083FR00
, 5F083ZA20
引用特許:
審査官引用 (2件)
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顕微分光測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-168019
出願人:株式会社堀場製作所
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特開平1-141323
引用文献:
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