特許
J-GLOBAL ID：200903006085943611
三軸センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-078133
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332503
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 小型であり、1基のセンサにより三次元的な物理量の測定が可能であって、センサ感度の高い三軸センサを提供する。【解決手段】 作用体31と、作用体31を中心として周設された、中空部を有する支台32と、少なくとも1組の電極に接する圧電体34を有し、かつ、支台32の中空部の中心に作用体31を釣支するように支台32に横架された可撓板30により構成され、外部から作用する物理量を、物理量に対応して生ずる作用体31の挙動に基づく可撓板30の撓みに変換し、可撓板30の撓みに応じて圧電体34から発生する電荷により、物理量の方向及び大きさを三次元的に検知する三軸センサである。可撓板30の一部に高強度部35を設けることにより、相対的に強度の低い部分33を設け、強度の低い部分33に圧電素子34を配設することにより、可撓板30の撓みを圧電素子34配設部に集中せしめる。
請求項（抜粋）：
作用体と、当該作用体を中心として周設された、中空部を有する支台と、少なくとも1組の電極に接する圧電体を有し、かつ、前記支台の中空部の中心に前記作用体を釣支するように前記支台に横架された可撓板により構成され、外部から作用する物理量を、当該物理量に対応して生ずる前記作用体の挙動に基づく前記可撓板の撓みに変換し、当該可撓板の撓みに応じて前記圧電体から発生する電荷により、前記物理量の方向及び大きさを三次元的に検知することを特徴とする三軸センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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