特許

J-GLOBAL ID：200903006093074940

超音波振動子及び超音波処理装置

発明者： 飯島 剛志 ,  市川 忠義
出願人/特許権者： 株式会社千代田製作所
代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-255006
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066455
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】【課題】 超音波振動子を形成する容器を耐圧容器としても、振動素子からの超音波振動によって、耐圧容器の壁部が発振し易い超音波振動子を提供する。【解決手段】 密閉された状態で外周面に加えられる圧力に対して可及的に変形を少なくし得る耐圧容器の内壁面に、振動素子16,16・・が装着されて成る超音波振動子10であって、該耐圧容器の振動素子16が装着された部分が、前記耐圧容器の外方に突出する球状部12に形成されていると共に、球状部12の壁部が、振動素子16の超音波振動によって発振され得るように、前記耐圧容器を形成する他の部分の壁部よりも薄く形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

密閉された状態で外周面に加えられる圧力に対して可及的に変形を少なくし得る耐圧容器の内壁面に、振動素子が装着されて成る超音波振動子であって、該耐圧容器の振動素子が装着された部分が、前記耐圧容器の外方に突出され且つ外壁面及び内壁面が共に曲面状に形成された突出部であり、前記突出部の壁部が、前記振動素子の超音波振動によって発振され得るように、前記耐圧容器を形成する他の部分の壁部よりも薄く形成されていることを特徴とする超音波振動子。

IPC (5件)：

B06B 1/02 ,  B06B 1/06 ,  B06B 3/04 ,  B08B 3/12 ,  H01L 41/09

FI (6件)：

B06B 1/02 K ,  B06B 1/06 Z ,  B06B 3/04 ,  B08B 3/12 Z ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 J

Fターム (15件)：

3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201BB84 ,  3B201BB85 ,  3B201BB86 ,  3B201BB92 ,  3B201CD11 ,  5D107AA03 ,  5D107BB04 ,  5D107BB05 ,  5D107BB11 ,  5D107CC10 ,  5D107CC12 ,  5D107FF01 ,  5D107FF08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-153322   出願人：株式会社大岩機器工業所