特許
J-GLOBAL ID：200903010450396649

洗浄装置

発明者：
梅木 義彦

梅木 義彦 について


出願人/特許権者：
株式会社大岩機器工業所

株式会社大岩機器工業所 について


代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-153322
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345796
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 洗浄液中に金属イオンが溶出することがなく、且つ所定の真空度の減圧下で超音波振動を用いて強い洗浄力で被洗浄物を洗浄できる洗浄装置を提供すること。【解決手段】 少なくとも洗浄液Q1が接する接液面を樹脂材等の非金属材で構成すると共に内部を0.1Torr〜数十Torrの真空度にしても耐えうる構造の洗浄槽10と、該洗浄槽10内に収容した洗浄液Q1に超音波振動を与える超音波振動装置18と、洗浄槽10内を所定の真空度にまで減圧する真空ポンプ20を具備し、洗浄槽10内に洗浄液Q1を収容すると共に、該洗浄液Q1中に浸漬した被洗浄物Mを真空ポンプ20で該洗浄槽10内を所定の真空度に維持した状態で超音波振動装置18で該洗浄液Q1に超音波振動を与えながら洗浄する。
請求項（抜粋）：
少なくとも洗浄液が接する接液面を非金属材で構成すると共に内部を0.1Torr〜数十Torrの真空度にしても耐えうる構造の洗浄槽と、該洗浄槽内に収容した洗浄液に超音波振動を与える超音波振動装置と、洗浄槽内を所定の真空度にまで減圧する真空装置を具備し、前記洗浄槽内に洗浄液を収容すると共に、該洗浄液中に浸漬した被洗浄物を前記真空装置で該洗浄槽内を所定の真空度に維持した状態で前記超音波振動装置で該洗浄液に超音波振動を与えながら洗浄することを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304 648 ,  B08B 3/12
FI (3件)：
H01L 21/304 642 E ,  H01L 21/304 648 L ,  B08B 3/12 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM