オゾン水処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-254651
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107003
出願日： 1996年09月26日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】この発明はオゾン水からオゾンガスを安価に、しかも確実に脱気することができるようにしたオゾン水処理装置を提供することにある。【解決手段】オゾン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置において、オゾン水が供給される処理タンク12と、この処理タンク内のオゾン水に加圧気体を供給してオゾンガスを脱気させる第1の制御弁14が設けられた気体供給管13と、脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する第4の制御弁19が設けられた排ガス管17と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出する第3の制御弁18が設けられた排液管16とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

オゾン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置において、オゾン水が供給される処理タンクと、この処理タンク内のオゾン水に加圧気体を供給してオゾンガスを脱気させる気体供給手段と、脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排気手段と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出する排液手段とを具備したことを特徴とするオゾン水処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B01D 19/00 , B08B 3/08 , C02F 1/20

FI (5件)：

H01L 21/304 341 Z , H01L 21/304 341 S , B01D 19/00 Z , B08B 3/08 B , C02F 1/20 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-012283
気液混合流体のガス抜き装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-317354 出願人：岡崎龍夫
回転薬液洗浄方法及び洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-150897 出願人：大見忠弘, 日曹エンジニアリング株式会社, 株式会社エムテーシー

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